Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

в найденном

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Поисковый запрос: (<.>I=621.3/Б888-159092<.>)

Общее количество найденных документов : 1

621.3
Б888

    Броудай, Ивор.
    Физические основы микротехнологии : Пер. с англ. / Ивор Броудай, Джулиус Мерей. - М. : Мир, 1985. - 494, [2] с. : ил. - Библиогр.: с. 465-483. -Предм. указ.: с. 484-492. - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002
~РУБ 621.3

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- физические основы -- пучки частиц -- тонкие пленки -- литография -- микросхемы -- субмикронная микроскопия -- микрозонды
Доп.точки доступа:
Мерей, Джулиус
Шальнов, А. В. \ред. пер.\
Володин, В. А. \пер.\
Першенков, В. С. \пер.\
Подлепецкий, Б. И. \пер.\

Имеются экземпляры в отделах: аунл (6 экз.), счз1 (3 экз.)
Свободны: аунл (6), счз1 (3)
Постоянная гиперссылка

Статистика за 01.07.2024
Число запросов	191298
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)