УДК	621.38.002.3:620.18(075.8)

~РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- электроника -- исследования -- материалы -- структуры -- электрические измерения -- оптические методы -- рентгенодиагностика -- масс-спектрометрия -- оже-спектроскопия -- микроскопия
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники