Блинов, Иван Григорьевич. Оборудование полупроводникового производства : учебное пособие для вузов / И. Г. Блинов, Л. В. Кожитов. - М. : Машиностроение, 1986. - 262, [2] с. : ил., табл. - (Для вузов). - Библиогр.: с. 256-258. - Предм. указ.: с. 259-263. - Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: аунл (4 экз.), счз1 (1 экз.) Свободны: аунл (4), счз1 (1) |