621.382
Б 955


    Быстров, Юрий Александрович.
    Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве / Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов. - М. : Радио и связь, 1988. - 168 с. : ил. - 0.65 р., 00.65 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (9 экз.), счз1
Свободны: аунл (9)