Б 955 Быстров, Юрий Александрович. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве / Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов. - М. : Радио и связь, 1988. - 168 с. : ил. - 0.65 р., 00.65 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа ![]() Имеются экземпляры в отделах: , аунл (9 экз.), счз1 Свободны: аунл (9) |