С404 Сироткин, Валерий Степанович. Управление технологическими процессами производства полупроводниковых приборов / В. С. Сироткин, Ф. П. Пресс. - М. : Энергия, 1979. - 209 с. : ил. - Библиогр.: с. 202-207. - Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: счз1 (1 экз.), аунл (4 экз.) Свободны: счз1 (1), аунл (4) |