Д952 Дюваль, Пьер. Высоковакуумное произвоство в микроэлектронной промышленности : Пер. с англ. / Пьер Дюваль; Пер. Н. В. Васильченко, Пер. И. Е. Лев, тин, Пер. Ю. И. Расстегин, Ред. С. А. Неустроев. - М. : Мир, 1992. - 264 с. : ил. - Библиогр.: с. 203-208. - ISBN 5-03-002002-0 (в пер.) : Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.), счз1 Свободны: аунл (1) |