Б825 Борисенко, Александр Сергеевич. Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств : учебник для техникумов / А. С. Борисенко, Н. И. Бавыкин. - М. : Машиностроение, 1983. - 320 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 318-319. - (в пер.) : Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: аунл (5 экз.) Свободны: аунл (5) |