В 155 Валиев, Камиль Ахметович. Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике : научное издание / К. А. Валиев, А. В. Раков. - М. : Радио и связь, 1984. - 349, [3] с. : ил. - Библиогр.: с. 338-347. - 02.80 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (5 экз.), счз1 Свободны: аунл (5) |