Д182 Данилина, Тамара Ивановна. Физические основы технологии микросхем : Учебное пособие / Т. И. Данилина, К. И. Смирнова ; ред. Г. А. Воробьев . - Томск : Издательство Томского университета, 1984. - 84, [2] с. : ил. - Библиогр.: с. 83. - 00.70 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (34 экз.), счз1 (1 экз.) Свободны: аунл (34), счз1 (1) |