Б 518 Берри, Р. Тонкопленочная технология : Пер. с англ. / Р. Берри, П. Холл, М. Гаррис ; пер. В. И. Генкин, пер. Е. И. Гиваргизов. - М. : Энергия, 1972. - 336 с. : ил. - Библиогр.: с. 329-335. - Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: аунл (7 экз.), счз1 Свободны: аунл (7) |