М809 Моряков, Олег Сергеевич. Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства : Учеб. для средн. проф. -техн. Училищ / Олег Сергеевич Моряков. - 3-е издание, переработанное и дополненное. - М. : Высшая школа, 1981. - 336 с. : ил. - (Профтехобразование.Полупроводники). - (в пер.) : Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: аунл (2 экз.) Свободны: аунл (2) |