Д182 Данилин, Борис Степанович. Ионное травление микроструктур : научное издание / Борис Степанович Данилин, Валерий Юрьевич Киреев. - М. : Советское радио, 1979. - 101[2] с. : ил. - (Массовая библиотека инженера "Электроника" ; 21). - Библиогр.: с. 95-102. - (в пер.) : Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: аунл (2 экз.) Свободны: аунл (2) |