П734 Пресс, Феликс Павлович. Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем : научное издание / Феликс Павлович Пресс. - М. : Советское радио, 1978. - 94[2] с. : ил. - (Массовая библиотека инженера "Электроника" ; 18). - Библиогр.: с. 92-95. - (в пер.) : Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: счз1, аунл (1 экз.) Свободны: аунл (1) |