Д182 Данилин, Борис Степанович. Получение тонкопленочных элементов микросхем : производственно-практическое издание / Б. С. Данилин. - М. : Энергия, 1977. - 135[1] с. : ил. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры ; вып.10). - Библиогр.: с. 128-134. - (в пер.) : 00.42 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (5 экз.), счз1 Свободны: аунл (5) |