Т 384 Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники : учебное пособие для ПТУ: В 10 кн. - М. : Высшая школа, 1989 - . Кн. 4 : Механическая и химическая обработка : рекомендовано Мин.образования / С. Н. Никифорова-Денисова. - М. : Высшая школа, 1989. - 94[2] с. : ил. - Библиогр.: с. 93. - ISBN 5-06-000306-X (в пер.) : 00.10 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (6 экз.), счз1 (1 экз.) Свободны: аунл (6), счз1 (1) |