Т 384 Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники : учебное пособие для ПТУ: В 10 кн. - М. : Высшая школа, 1990 - . Кн. 7 : Элионная обработка : рекомендовано Мин.образования / О. С. Моряков. - М. : Высшая школа, 1990. - 125[3] с. : ил. - Библиогр.: с. 127. - ISBN 5-06-001079-1 (в пер.) : 00.20 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (9 экз.), счз1 (1 экз.) Свободны: аунл (8), счз1 (1) |