С718 Специальное технологическое оборудование для производства изделий микроэлектроники : Тезисы докл. и рек. конф., освещ. и семинаров. Материалы конф. "Спец. технолог. оборуд. для произ-ва изделий микроэлектр. "(23-25 нояб. 1971г.) / Министерство электронной промышленности СССР. - М. : ЦНИИ Электроника, 1972. - 69 с. - (Серия 3."микроэлектроника" ; вып.1(9)). - (в пер.) : Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.) Свободны: аунл (1) |