П781 Проблемы микроэлектронной технологии : сборник научных трудов / Российская Академия наук, Физико-технологический институт ; Ред. Л. В. Великов. - М. : Наука, 1994. - 78 с. : ил. - (Труды ФТИАН / Гл. ред. К. А. Валиев ; т. 7). - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-02-007019-Х (в пер.) : Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: аунл (3 экз.) Свободны: аунл (3) |