П 370 Плазменная технология в производстве СБИС : пер. с англ. / Д. Л. Толливер [и др.] ; пер.: Ю. М. Золотарев, В. В. Юдин ; ред. пер. Е. С. Машкова ; ред.: Н. Айнспрук, Д. М. Браун. - М. : Мир, 1987. - 472 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 7, 461-462. - Предм.-имен. указ.: с. 463-466. - 42.00 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (8 экз.), счз1 (1 экз.) Свободны: аунл (7), счз1 (1) |