В-751 Воробьев, Григорий Абрамович. Тонкие пленки в микроэлектронике : Учебное пособие / Г. А. Воробьев, Т. И. Данилина, К. И. Смирнова ; ред. З. А. Шандра ; ТИАСУР. - Томск : Издательство Томского университета, 1991. - 124 с. - Библиогр.: с. 119-122. - ISBN 5-7511-0191-Х : 00.70 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: аунл (107 экз.), счз1 (2 экз.) Свободны: аунл (107), счз1 (2) |