621.3
М744


   
    Моделирование и расчет элементов устройств технологического оборудования микроэлектроники : Сборник научных трудов / Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Московский Институт электронной техники ; Ред. И. Г. Блинов. - М. : [б. и.], 1985. - 120 с. - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: счз1 (1 экз.), аунл (2 экз.)
Свободны: счз1 (1), аунл (2)