Г17 Гаштольд, Владимир Николаевич Развитие метода катодного распыления / В. Н. Гаштольд ; Министерство электронной промышленности СССР (М.). - М. : Электроника, 1970 - . - (Обзоры по электронной технике. Микроэлектроника). Вып. 2 (179). - М. : Электроника, 1970. - 44 с. - Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (1 экз.) Свободны: аунл (1) |