А 432 Активируемые процессы технологии микроэлектроники : междувед. тематич. науч. сборник. - Таганрог : ТРТИ. Вып. 9 / Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Таганрогский радиотехнический институт им. В. Д. Калмыкова ; Ред. Д. А. Сеченов. - Таганрог : ТРТИ. - 152 с. : ил. - Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (2 экз.) Свободны: аунл (2) |