621.9
Э 455


   
    Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов : Пер. с англ. / Д. Р. Брюэр, Д. С. Гринич [и др.] ; ред. Дж.Р.Брюэра. - М. : Радио и связь, 1984. - 336 с. - Библиогр.: с. 316-328. - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: аунл (21 экз.), счз1
Свободны: аунл (20)