Б 825 Борисенко, А. И. Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике / А. И. Борисенко, В. В. Новиков, Н. Е. Прихидько ; Академия наук СССР, Институт химии силикатов. - Л. : Наука, 1972. - 114 с. : ил. - (в пер.) : Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.) Свободны: аунл (1) |