539.2
Т56


   
    Отчет по научно-исследовательской работе. Исследование возможности получения нитрида алюминия на арсениде галия методом реактивного катодного распыления в пеннинговской газоразрядной камере. Выполнено по договору с НИИПП: Тема 61/71. N гос.регистрац. 7202832 / Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР. - Томск : [б. и.], 1972. - 71 с. - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Свободных экз. нет