Д182 Данилина, Тамара Ивановна. Перспективные технологии производства СБИС : Учебное пособие / Т. И. Данилина ; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТМЦДО, 2000. - 99 с. : ил. - Библиогр.: с. 96. - 29.00 р., 39.60 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (22 экз.), счз1 (2 экз.) Свободны: аунл (22), счз1 (2) |