Д182 Данилина, Тамара Ивановна. Перспективные технологии производства СБИС (Технология СБИС) : Учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 200100 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" дистанционной и дневной форм обучения / Тамара Ивановна Данилина ; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2002. - 30 с. : ил. - Библиогр.: с. 30. - 00.00 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (10 экз.), счз1 (1 экз.) Свободны: аунл (10), счз1 (1) |