С506 Смирнова, Клара Ивановна. Тонкие плёнки в микроэлектронике: (Физика твёрдого тела) : Учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 200100 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" дистанционной и дневной форм обучения / К. И. Смирнова ; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2003. - 23 с. : табл. - Библиогр.: с. 11. - Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: аунл (11 экз.), счз1 (3 экз.) Свободны: аунл (11), счз1 (3) |