Р957 Рычков, Дмитрий Сергеевич. Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04 / Дмитрий Сергеевич Рычков ; Государственное научное учреждение "Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете". - Томск, 2004. - 148 с. : ил. - Библиогр.: с. 137-148. - (в пер.) Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.) Свободны: сбо (1) |