Д 182 Данилин, Борис Степанович. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б. С. Данилин. - М. : Энергоатомиздат, 1989. - 328 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 316-324. - ISBN 5-283-03939-0 (в пер.) : Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.) Свободны: аунл (1) |