Д 182 Данилина, Тамара Ивановна. Технология тонкопленочных микросхем : Учебное пособие / Т. И. Данилина ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТМЦДО, 2006. - 164 с. : ил. - Библиогр.: с. 161. - 49.20 р., 82.00 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (2 экз.), аунл (8 экз.) Свободны: счз1 (2), аунл (8) |