Н 695 Нитрид кремния в электронике / В. И. Белый [и др.] ; ред. А. В. Ржанов ; Академия наук СССР, Сибирское отделение, Институт физики полупроводников, Институт неорганической химии. - Новосибирск : Наука, 1982. - 197, [3] с. : ил. - Библиогр.: с. 186-198. - Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: аунл (2 экз.) Свободны: аунл (2) |