УДК

621.38:533.9(075.4)

621.385(075.4)

~РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- вакуумная электроника -- плазменная электроника -- заряженные частицы -- движение заряженных частиц -- электронная эмиссия -- газовые разряды -- плазма -- газоразрядная электроника -- осаждение пленок -- электронные пучки -- электронные пушки -- ионные пучки
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники