С 506 Смирнова, Клара Ивановна. Тонкие пленки в микроэлектронике : учебное пособие для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 109 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 109. - 57.58 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (45 экз.), счз1 (3 экз.) Свободны: аунл (41), счз1 (3) |