Д 182 Данилина, Тамара Ивановна. Вакуумная техника : учебно-методическое пособие по самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / Т. И. Данилина, А. С. Макрушин ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск), Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 50 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 48. - 29.48 р., 50.00 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (46 экз.), счз1 (2 экз.) Свободны: аунл (46), счз1 (2) |