С 506 Смирнова, Клара Ивановна. Процессы микро- и нанотехнологии : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 53 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 53. - 25.62 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа ![]() Имеются экземпляры в отделах: , аунл (41 экз.), счз1 (2 экз.) Свободны: аунл (33), счз1 (2) |