Д 182 Данилина, Тамара Ивановна. Вакуумная техника : Методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / Т. И. Данилина, А. С. Макрушин ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : [б. и.], 2007. - 41 с. : ил. - Библиогр.: с. 30. - 41.25 р., 20.00 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (24 экз.), счз1 (1 экз.) Свободны: аунл (24), счз1 (1) |