Ерофеев, Е. В. Разработка бездрагметальной технологии изготовления GAAS СВЧ наногетеротранзисторов с рабочими частотами выше 100 ГГц при использовании обработки в потоке атомарного водорода [Текст] : доклад / Е. В. Ерофеев, А. И. Казимиров // Научная сессия ТУСУР-2011. - Томск : В-Спектр. - Ч. 5. - С. 170-175 : ил. - Библиогр. в конце ст. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа  Полный текст/внешний ресурс (постраничный просмотр) : 2011_erofeev_150711.pdf или скачать |