Ч-602 Чикин, Евгений Владимирович. Исследование процессов вакуумтермического метода нанесения тонких пленок [Текст] : руководство к лабораторной работе / Е. В. Чикин ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга. - Томск : [б. и.], 2006. - 19 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 19. - 36.68 р., 10.00 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (8 экз.), счз1 (1 экз.) Свободны: аунл (8), счз1 (1) |