О-662 Орликов, Леонид Николаевич. Исследование процесса нанесения пленок магнетронным способом [Электронный ресурс] : методические указания к лабораторной работе / Л. Н. Орликов ; Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (Томск), Кафедра электронных приборов. - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2012. - on-line, 23 с. - Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа Перейти к внешнему ресурсу http://edu.tusur.ru/training/publications/1340 |