О-662 Орликов, Леонид Николаевич. Исследование процесса ионно-плазменного распыления материалов [Электронный ресурс] : методические указания к лабораторной работе / Л. Н. Орликов ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2012. - on-line, 19 с. - Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа Перейти к внешнему ресурсу http://edu.tusur.ru/training/publications/1342 |