Будишевская, В. Н. Безрезисторная литография на пленках двуокиси кремния методом высокодозовой имплантации ионами азота : статья / В. Н. Будишевская, В. А. Кагадей, В. Я. Мартенс, Е. Б. Янкелевич // Электронная промышленность. - 1990. - № 8. - С. 38-40 : ил. - Библиогр. в конце ст. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа  Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : СБО (1) Свободны: СБО (1) |