Данилина, Тамара Ивановна. Моделирование процессов осаждения на сложные профили [Текст] / Т. И. Данилина, Н. В. Скотников // Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. Доклады Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники : периодический научный журнал. - 2012. - N 2(26)Ч2. - С. 179-181 . - ISSN 1818-0442 Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа  Полный текст/внешний ресурс (постраничный просмотр) : 2012(26)2 Danilina.pdf или скачать Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : сбо (3) Свободны: сбо (3) |