О-662 Орликов, Леонид Николаевич. Основы вакуумных технологий [Электронный ресурс] : методические указания к практическим занятиям для студентов направления 210100.62 – Электроника и наноэлектроника / Л. Н. Орликов ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2013. - on-line, 30 с. - Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа  Перейти к внешнему ресурсу http://edu.tusur.ru/training/publications/3437 |