Ведерников, В. А. Применение низковольтного пениннговского разряда для получения тонких диэлектрических пленок : статья / В. А. Ведерников, Т. И. Данилина // Микроэлектроника. - 1973. - № 3. - С. 248-251. - Библиогр. в конце ст. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа  Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : СБО (1) Свободны: СБО (1) |