Кутков, Илья Викторович. Качественный и количественный анализ пленок нитрида кремния методом ИК-спектроскопии [Текст] / И. В. Кутков, М. И. Пехтелев // Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. Доклады Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники : периодический научный журнал. - 2014. - N 1(31). - С. 92-94 . - ISSN 1818-0442 Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа  Полный текст/внешний ресурс (постраничный просмотр) : 2014(31)1 Kutkov.pdf или скачать Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : сбо (2) Свободны: сбо (2) |