621.315
Т 650


   
    Травление полупроводников [Текст] : научное издание / пер. С. Н. Горин. - М. : Мир, 1965. - 382 с : рис., табл. - Пер. с англ. - Библиогр. в конце ст. - Указ авт.: с. 337. - Библиогр.: с. 338-362. - Предм. указ.: с. 363-378. - 01.53 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (1 экз.)
Свободны: аунл (1)