М 923 Мухачев, В. А. Физические основы микро- и наносистемной техники [Текст] : методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов направления 222900.62 "Нанотехнологии и микросистемная техника", профиль "Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике" / В. А. Мухачев ; Минобрнауки России (М.), ФГБОУ ВПО Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск), Каф. физической электроники. - Томск : [б. и.], 2015. - 23 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 22. - 15.83 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (1 экз.), аунл (4 экз.) Свободны: счз1 (1), аунл (4) |