Д 182 Данилина, Т. И. Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, И. А. Чистоедова ; Минобрнауки России (М.), Российская корпорация нанотехнологий, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2010. - 109 с. : рис., схемы, табл., фот. - (Технология и оборудование наноэлектроники). - Библиогр.: с. 107. - 100.00 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (1 экз.) Свободны: счз1 (1) |